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iSECS: 工厂侧Host系统的SECS/GEM 驱动

 

iSECS:工厂侧Host系统的SECS/GEM 驱动



支持的SEMI通讯标准:


•SEMI E4 - RS232 (Serial Port) 


•SEMI E37 - HSMS (TCP/IP) 


•SEMI E5 - SECS-II Message Specification 


•SEMI E30 - Generic Equipment Model (GEM) 


•SEMI PV2 – PV ECI 


•SEMI HB4 -- HB-LED ECI 


•SEMI A3 -- PCBECI 


主要功能


•Data Collection 


•Event Notification 


•Alarm Notification 


•Remote Command 


•Process Program


•Others


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